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电子半导体车间空气过滤器方案

利菲尔特  点击:   2021-03-26
电子半导体车间空气过滤器解决方案半导体车间空气净化工程目标是建立一个洁净无尘的工作环境,防止空气中的微粒子、有害空气、细菌等。半导体生产流水线上的半成品和成品造成污染,传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今AstroFanFFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种最安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质里的循环空气。领先的晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利闰。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。半导体车间空气净化通常由:初效过滤器/中效过滤器/高效过滤器三级空气过滤的空调送风回风和排风系统、动力及照
明系统、工作环境参数的监测报警消防、通讯系统、人流和物流系统、工艺管路系统等部分组成。

传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今AstroFanFFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种最安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质里的循环空气。用途:半导体车间空气净化工艺广泛应用于硅电子、收音机、电视机、电脑、家用电器等行业生产车间的空气净化。

污染物 来源 引发问题 解决方案
粉尘 空气
造成集成电路断路、短路,影响成品率
 
化学过滤模块+普通、高效过滤器/FFU
 
NTH3,NMP
 
外气
“T-top“现象
 
化学过滤模块
 
电子半导体车间空气过滤器解决方案半导体车间空气净化工程目标是建立一个洁净无尘的工作环境,防止空气中的微粒子、有害空气、细菌等。半导体生产流水线上的半成品和成品造成污染,传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今AstroF an FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种最安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质里的循环空气。
 

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